Eriks
KALREZ®

KALREZ® O-ring FFKM 9500 15,54x2,62 AS568-114

  • ERIKS:14974685
Image 1
Résistance à la température

Les joints toriques Kalrez® 9500 ont une plage de température de fonctionnement jusqu'à +310°C.


Principales caractéristiques de performance

• Excellente résistance à l'ozone, à l'ammoniac, à la vapeur d'eau, etc.
• Faible taux d'érosion et génération de particules ultra-faible dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor à dominante radicale
• Excellente stabilité thermique
• Très faible dégazage
• Excellente résistance mécanique


Applications suggérées

• Pour les applications SACVD et FCVD des semi-conducteurs
• Joints d'admission de gaz/orifice/bloc de mélange
• Joints de couvercle de chambre
• Joints de vanne d'isolement

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Marque
KALREZ®
Diamètre intérieur
15.54 mm
Diamètre du cordon
2.62 mm
Dimension selon AS568-BS1806-ISO3601
114
Produit
O-ring
Matériau
FFKM
Couleur
Tan
Dureté
75
Compound
9500
Plage de température
de 0 jusqu'à 310 °C