O-ring (joint torique) FFKM 79 Kalrez® 9500 - Diamètre du cordon 2,62 jusqu'à 3 mm
Résistance à la température
Les joints toriques Kalrez® 9500 ont une plage de température de fonctionnement jusqu'à +310°C.
Principales caractéristiques de performance
• Excellente résistance à l'ozone, à l'ammoniac, à la vapeur d'eau, etc. • Faible taux d'érosion et génération de particules ultra-faible dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor à dominante radicale • Excellente stabilité thermique • Très faible dégazage • Excellente résistance mécanique
Applications suggérées
• Pour les applications SACVD et FCVD des semi-conducteurs • Joints d'admission de gaz/orifice/bloc de mélange • Joints de couvercle de chambre • Joints de vanne d'isolement