KALREZ® O-ring FFKM 9500 170,82x5,33 AS568-364

Résistance à la température

Les joints toriques Kalrez® 9500 ont une plage de température de fonctionnement jusqu'à +310°C.


Principales caractéristiques de performance

• Excellente résistance à l'ozone, à l'ammoniac, à la vapeur d'eau, etc.
• Faible taux d'érosion et génération de particules ultra-faible dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor à dominante radicale
• Excellente stabilité thermique
• Très faible dégazage
• Excellente résistance mécanique


Applications suggérées

• Pour les applications SACVD et FCVD des semi-conducteurs
• Joints d'admission de gaz/orifice/bloc de mélange
• Joints de couvercle de chambre
• Joints de vanne d'isolement