KALREZ® O-ring FFKM 9300 166x4

Les joints toriques en perfluoroélastomère brun Kalrez® 9300 sont conçus pour les applications de gravure diélectrique (oxyde) dans l'industrie du semi-conducteur. Kalrez® 9300 présente une excellente résistance au plasma à base d'oxygène et de fluor et à la chimie des procédés de gravure. Il a été spécialement conçu pour être utilisé dans des applications où l'environnement plasma est une combinaison d'ions (« physique ») et de radicaux (« chimique »), c'est-à-dire lorsqu'un équilibre entre la résistance à l'érosion plasmatique « physique » et « chimique » est généralement requis. Il offre également une très faible teneur en métaux, une excellente stabilité thermique et une excellente résistance mécanique, et est bien adapté aux applications d'étanchéité statiques et dynamiques. Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 9300.