KALREZ® O-ring FFKM 80 beige 8085 66,34x2,62 AS568-146
- ERIKS:14972620
Les joints toriques en perfluoroélastomère de couleur beige Kalrez® 8085 présentent, dans l'industrie du semi-conducteur, une très faible génération de particules et une faible perte de poids dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor. Kalrez® 8085 présente une excellente résistance mécanique et est un produit à usage général pour les applications de gravure, d'incinération/décapage et de dépôt, par exemple HDPCVD, PECVD, SACVD, etc. Il a été formulé pour une génération minimale de particules dans le plasma NF3. Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 8085.
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Marque | KALREZ® |
Diamètre intérieur | 66.34 mm |
Diamètre du cordon | 2.62 mm |
Dimension selon AS568-BS1806-ISO3601 | 146 |
Produit | O-ring |
Matériau | FFKM |
Couleur | Beige |
Dureté | 80 |
Compound | 8085 |
Plage de température | de -10 jusqu'à 240 °C |