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KALREZ®

KALREZ® O-ring FFKM 80 beige 8085 164,1x8,4

  • ERIKS:14973191
Image 1
Les joints toriques en perfluoroélastomère de couleur beige Kalrez® 8085 présentent, dans l'industrie du semi-conducteur, une très faible génération de particules et une faible perte de poids dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor. Kalrez® 8085 présente une excellente résistance mécanique et est un produit à usage général pour les applications de gravure, d'incinération/décapage et de dépôt, par exemple HDPCVD, PECVD, SACVD, etc. Il a été formulé pour une génération minimale de particules dans le plasma NF3. Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 8085.
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Marque
KALREZ®
Diamètre intérieur
164.1 mm
Diamètre du cordon
8.4 mm
Dimension selon BS4518
BS4518-1641-84
Produit
O-ring
Matériau
FFKM
Couleur
Beige
Dureté
80
Compound
8085
Plage de température
de -10 jusqu'à 240 °C