KALREZ® O-ring FFKM 69 transparent 8002 52x4

Les pièces en élastomère perfluoré DuPont™ Kalrez® 8002 sont un produit transparent pour les applications semi-conducteur Ashing et Stripping. Ce produit non chargé offre une excellente résistance à la fissuration par plasma et une génération de particules ultra-faible dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor, par rapport aux produits chargés en minéraux. Kalrez® 8002 présente une excellente résistance à la chimie des procédés à sec, a une bonne résistance mécanique et est bien adapté aux applications statiques, à faible contrainte/faible force d'étanchéité. Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 8002.