KALREZ® O-ring FFKM 80 beige 8085 31,12x5,33 AS568-322

Kalrez 8085 ist eine beige Mischung und wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt. Die obere Einsatztemperatur liegt bei +240°C Dieses Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (z.B. HDPCVD, PECVD, SACVD) empfohlen und verfügt über hervorragende Eigenschaften im Vakuum. Ultra-Post Cleaning (UP) und eine doppelte Verpackung garantieren die problemlose Verwendung im Reinraum.