KALREZ®

KALREZ® O-ring FFKM 80 beige 8085 18,3x3,6

  • ERIKS:14973224
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Kalrez 8085 ist eine beige Mischung und wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt. Die obere Einsatztemperatur liegt bei +240°C Dieses Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (z.B. HDPCVD, PECVD, SACVD) empfohlen und verfügt über hervorragende Eigenschaften im Vakuum. Ultra-Post Cleaning (UP) und eine doppelte Verpackung garantieren die problemlose Verwendung im Reinraum.
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Marke
KALREZ®
Innendurchmesser
18.3 mm
Schnurdicke
3.6 mm
Maß nach French R
NF-R15
Produkt
O-Ring
Material
FFKM
Farbe
Beige
Härte
80
Compound
8085
Temperaturbereich
von -10 bis 240 °C