KALREZ® O-ring FFKM 80 beige 8085 164,47x5,33 AS568-363
- ERIKS:14972759
Kalrez 8085 ist eine beige Mischung und wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt. Die obere Einsatztemperatur liegt bei +240°C Dieses Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (z.B. HDPCVD, PECVD, SACVD) empfohlen und verfügt über hervorragende Eigenschaften im Vakuum. Ultra-Post Cleaning (UP) und eine doppelte Verpackung garantieren die problemlose Verwendung im Reinraum.
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Marke | KALREZ® |
Innendurchmesser | 164.47 mm |
Schnurdicke | 5.33 mm |
Maß nach AS568-BS1806-ISO3601 | 363 |
Produkt | O-Ring |
Material | FFKM |
Farbe | Beige |
Härte | 80 |
Compound | 8085 |
Temperaturbereich | von -10 bis 240 °C |