KALREZ® O-ring FFKM 69 transparent 8002 62,2x5,7
- ERIKS:14971603
Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.
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Marke | KALREZ® |
Innendurchmesser | 62.2 mm |
Schnurdicke | 5.7 mm |
Produkt | O-Ring |
Material | FFKM |
Farbe | Transparent |
Härte | 70 |
Compound | 8002 |
Temperaturbereich | von 0 bis 275 °C |