KALREZ®

KALREZ® O-ring FFKM 69 transparent 8002 2,2x1,6

  • ERIKS:14971713
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Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.
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Marke
KALREZ®
Innendurchmesser
2.2 mm
Schnurdicke
1.6 mm
Maß nach French R
NF-R00
Produkt
O-Ring
Material
FFKM
Farbe
Transparent
Härte
70
Compound
8002
Temperaturbereich
von 0 bis 275 °C