KALREZ®

KALREZ® O-ring FFKM 69 transparent 8002 135,89x5,33 AS568-356

  • ERIKS:14971216
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Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.
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Marke
KALREZ®
Innendurchmesser
135.89 mm
Schnurdicke
5.33 mm
Maß nach AS568-BS1806-ISO3601
356
Produkt
O-Ring
Material
FFKM
Farbe
Transparent
Härte
70
Compound
8002
Temperaturbereich
von 0 bis 275 °C