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KALREZ®

O-ring FFKM 69 Kalrez® 8002 - Schnurdicke 2,4 bis 2,95 mm

Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.
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ProduktInnendurchmesser [mm]Schnurdicke [mm]Maß nach AS568-BS1806-ISO3601VerfügbarPreisexkl. MwSt