KALREZ® O-ring FFKM 69 transparent 8002 5,5x1,5

Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.