KALREZ® KALREZ® O-Ring FFKM 69 8002 AS568-BS1806-ISO3601-045 101,32x1,78

Kalrez 8002 ist eine transparente, ungefüllte Mischung mit extrem hoher Reinheit. Dieser Compound wurde speziell für Halbleiteranwendungen mit Trockenprozessen entwickelt. Die obere Einsatrztemperatur liegt bei +275°C. Dieses ungefüllte Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (SACVD) empfohlen.