KALREZ® KALREZ® O-Ring FFKM 63 8575 49x3

Kalrez 8575 ist eine weiße Mischung und wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt. Die obere Einsatztemperatur liegt bei +300°C. Dieses Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen empfohlen und verfügt über hervorragende Eigenschaften im Vakuum. Ultra-Post Cleaning (UP) und eine doppelte Verpackung garantieren eine problemlose Verwendung im Reinraum.