Les joints toriques en perfluoroélastomère de couleur ambre/translucide DuPont™ Kalrez® 9100 sont spécifiquement destinés aux applications PECVD, ALD, HDPCVD et de gravure dans l'industrie du semi-conducteur (poly/métal). Kalrez® 9100 est de couleur ambre et a été spécialement conçu pour une faible érosion et une génération de particules ultra-faible dans des environnements plasma difficiles. Il offre une excellente stabilité thermique, un très faible dégazage ainsi qu'une excellente reprise élastique et de bonnes propriétés de résistance mécanique.Il est bien adapté aux applications d'étanchéité statiques et dynamiques « sélectives ». Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 9100.