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KALREZ®

O-ring FFKM 80 Kalrez® 8085 - Schnurdicke 2,62 bis 3,45 mm

Kalrez 8085 ist eine beige Mischung und wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt. Die obere Einsatztemperatur liegt bei +240°C Dieses Produkt weist extrem geringe Partikel-Gernerierung in Sauerstoff- oder Fluorbasiertem Plasma aus. Dieser Werkstoff wird für Veraschungsprozesse, in Ätz- und Abscheidungsprozessen (z.B. HDPCVD, PECVD, SACVD) empfohlen und verfügt über hervorragende Eigenschaften im Vakuum. Ultra-Post Cleaning (UP) und eine doppelte Verpackung garantieren die problemlose Verwendung im Reinraum.
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ProduktInnendurchmesser [mm]Schnurdicke [mm]Maß nach AS568-BS1806-ISO3601VerfügbarPreisexkl. MwSt