KALREZ® O-ring FFKM 80 8085 AS568-BS1806-ISO3601-163 152.07x2.62mm

Les joints toriques en perfluoroélastomère de couleur beige Kalrez® 8085 présentent, dans l'industrie du semi-conducteur, une très faible génération de particules et une faible perte de poids dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor. Kalrez® 8085 présente une excellente résistance mécanique et est un produit à usage général pour les applications de gravure, d'incinération/décapage et de dépôt, par exemple HDPCVD, PECVD, SACVD, etc. Il a été formulé pour une génération minimale de particules dans le plasma NF3. Le post-nettoyage et l'emballage ultra-purs (UP) sont standard pour tous les joints toriques Kalrez® 8085.